发明名称 |
晶舟转换器 |
摘要 |
本发明提供一种晶舟转换器,包含有底座,底座具有承载板,承载板上进一步形成沿第一方向分布的第一定位区与第二定位区,在第一定位区与第二定位区之间形成有预设的间隔部,并有第一阻挡装置设置于承载板上、且位于第二定位区远离间隔部的一端的外缘,而第一阻挡装置的高度大于间隔部的宽度,且第一阻挡装置形成有阻挡面,阻挡面朝向间隔部,第二定位区另包含第二阻挡装置,第二阻挡装置凸设于承载板上,藉此第一、第二阻挡装置可确保操作人员在放置晶舟及取卸晶舟时方向正确,以提升晶圆的安全性。 |
申请公布号 |
CN102543794A |
申请公布日期 |
2012.07.04 |
申请号 |
CN201110037211.9 |
申请日期 |
2011.01.31 |
申请人 |
南茂科技股份有限公司 |
发明人 |
田金德;章铭祥;张竣雄 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
郭蔚 |
主权项 |
一种晶舟转换器,其特征在于包含有:一底座(10),具有一承载板(11)、一第一定位导轨(12)、一第二定位导轨(13)、一第一导引装置(14)与一第二导引装置(15),所述承载板(11)上进一步形成有沿一第一方向(X)分布的一第一定位区(17)与一第二定位区(18),所述第一定位导轨(12)沿所述第一方向(X)设置于所述第一定位区(17),所述第一导引装置(14)设置于所述第一定位区(17)的两侧,所述第二定位导轨(13)沿所述第一方向(X)设置于所述第二定位区(18),所述第二导引装置(15)设置于所述第二定位区(18)的两侧;以及一晶圆推杆(19),活动地设置于所述底座(10)、并可沿所述第一方向(X)自所述第一定位区(17)移动至所述第二定位区(18);其特征在于:所述第一定位区(17)与所述第二定位区(18)之间形成有一预设的间隔部(20);一第一阻挡装置(21),设置于所述承载板(11)上、且位于所述第二定位区(18)远离所述间隔部(20)的一端的外缘,所述第一阻挡装置的高度(D1)大于所述间隔部的宽度(D2),且所述第一阻挡装置(21)形成有一阻挡面(22),所述阻挡面(22)朝向所述间隔部(20);所述第二定位区(18)进一步包含一第二阻挡装置(23),所述第二阻挡装置(23)凸设于所述承载板(11)上,且所述第二阻挡装置(23)的高度大于所述第二定位导轨(13)的高度。 |
地址 |
中国台湾新竹科学工业园区新竹县研发一路一号 |