晶硅硅片的切片制绒一体化方法及装置

摘要

本发明涉及一种晶硅硅片的切片制绒一体化方法及装置，装置包括由一个出线轮、两个张力轮、多个导轮、两个辊轮、一个收线轮及缠绕在它们上面的金刚石切割线组成的切割线运动系统，辊轮与电机相连带动金刚石切割线运动，张力轮控制金刚石切割线的张力，两个辊轮之间对应的金刚石切割线上方设有固定装置，固定装置上固定有硅块，辊轮、导轮及缠绕在其上的金刚石切割线置于盛有制绒切削液的液槽内。将制绒切削液注入到切片机的液槽内，浸没金刚石切割线和硅块；转动辊轮，逐渐缓慢下压硅块接触金刚石切割线进行切片。本发明可以有效的解决切片过程中所产生的应力问题，使得切片和制绒能够同时进行，减少了化学品和工艺设备的使用，缩短了工艺流程。

主权项

晶硅硅片的切片制绒一体化装置，其特征是，包括由一个出线轮、两个张力轮、多个导轮、两个辊轮、一个收线轮及缠绕在它们上面的金刚石切割线组成的切割线运动系统，辊轮与电机相连带动金刚石切割线运动，张力轮控制金刚石切割线的张力，两个辊轮之间对应的金刚石切割线上方设有固定装置，固定装置上固定有硅块，辊轮、导轮及缠绕在其上的金刚石切割线置于盛有制绒切削液的液槽内。