发明名称 |
图像传感器的空穴型超深光二极管及其工艺方法 |
摘要 |
一种互补式金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器的空穴型超深光二极管及其工艺方法。P型基底接地或连接至负电源。N型外延层生长于P型基底上,且连接至正电源。超深P型光二极管注入区域形成于N型外延层内。使用加热处理以得到平滑且深的掺杂轮廓。 |
申请公布号 |
CN102544031A |
申请公布日期 |
2012.07.04 |
申请号 |
CN201010621512.1 |
申请日期 |
2010.12.28 |
申请人 |
英属开曼群岛商恒景科技股份有限公司 |
发明人 |
吴扬;郁飞霞 |
分类号 |
H01L27/146(2006.01)I;H01L31/103(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/146(2006.01)I |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 72002 |
代理人 |
陈松涛;蹇炜 |
主权项 |
一种互补式金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器的空穴型超深光二极管,包含:P型基底,接地或连接至负电源;N型外延层,生长于所述P型基底上,所述N型外延层连接至正电源;及超深P型光二极管注入区域,形成于所述N型外延层内。 |
地址 |
开曼群岛大开曼 |