发明名称 图像传感器的空穴型超深光二极管及其工艺方法
摘要 一种互补式金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器的空穴型超深光二极管及其工艺方法。P型基底接地或连接至负电源。N型外延层生长于P型基底上,且连接至正电源。超深P型光二极管注入区域形成于N型外延层内。使用加热处理以得到平滑且深的掺杂轮廓。
申请公布号 CN102544031A 申请公布日期 2012.07.04
申请号 CN201010621512.1 申请日期 2010.12.28
申请人 英属开曼群岛商恒景科技股份有限公司 发明人 吴扬;郁飞霞
分类号 H01L27/146(2006.01)I;H01L31/103(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L27/146(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 陈松涛;蹇炜
主权项 一种互补式金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器的空穴型超深光二极管,包含:P型基底,接地或连接至负电源;N型外延层,生长于所述P型基底上,所述N型外延层连接至正电源;及超深P型光二极管注入区域,形成于所述N型外延层内。
地址 开曼群岛大开曼