| 发明名称 | 一种化学机械抛光浆料 | ||
| 摘要 | 一种用于铜的化学机械抛光浆料至少含有一种磷酸酯类表面活性剂，还含有研磨颗粒、络合剂、氧化剂。使用本发明的浆料的可以降低铜的静态腐蚀速率。 | ||
| 申请公布号 | CN102533118A | 申请公布日期 | 2012.07.04 |
| 申请号 | CN201010585380.1 | 申请日期 | 2010.12.10 |
| 申请人 | 安集微电子(上海)有限公司 | 发明人 | 荆建芬;蔡鑫元;张建 |
| 分类号 | C09G1/02(2006.01)I | 主分类号 | C09G1/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海翰鸿律师事务所 31246 | 代理人 | 李佳铭 |
| 主权项 | 一种化学机械抛光浆液，其包括：一种磷酸酯类表面活性剂、研磨颗粒、络合剂和氧化剂。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼613-618室 | ||