一种纳米级微小位移测量装置

摘要

本发明涉及一种测量纳米级微小位移测量装置，包括时序及充电电路、传感电路、积分及放大电路、差分采样电路以及滤波电路，上述电路顺序电连接，其中：时序及充电电路，产生传感电路所需的充电脉冲及差分采样电路所需的时序信号；传感电路，接收微小位移信号，输出相应的微小电流信号至积分及放大电路；积分及放大电路，接收微小电流信号，输出电压信号至差分采样电路；差分采样电路，对积分及放大电路输入的电压信号进行差分处理；滤波电路，对经过差分处理后信号进行滤波处理，得到最后的检测信号。本发明可以通过较小的测量机构实现微小位移纳米级的测量，结构简单，成本低，性能稳定，灵敏度高。

主权项

一种测量纳米级微小位移测量装置，其特征在于：包括时序及充电电路、传感电路、积分及放大电路、差分采样电路以及滤波电路，上述电路顺序电连接，其中：时序及充电电路，产生传感电路所需的充电脉冲及差分采样电路所需的时序信号；传感电路，接收微小位移信号，输出相应的微小电流信号至积分及放大电路；积分及放大电路，接收微小电流信号，输出电压信号至差分采样电路；差分采样电路，对积分及放大电路输入的电压信号进行差分处理；滤波电路，对经过差分处理后信号进行滤波处理，得到最后的检测信号。