发明名称 |
一种合金元素成分可控的铂族金属合金涂层及其制备方法 |
摘要 |
本发明涉及一种在难熔金属材料表面制备铂族金属合金涂层方法,涂层中以铱或铂为主要成分,锆、铪、钽、铌、铝为合金元素,合金元素的氧化物为增强成分。涂层的制备方法是,取铂族金属丝及合金金属丝若干,均匀穿过氧化铝陶瓷并固定,以此组成合金靶材。将靶材与工件放置在真空室中,靶材的一端面对工件,另一端接电源,铂族金属丝并联接一组电源,合金元素丝按分布设计可接2-5组电源。采用双辉等离子方法,在真空炉中沉积合金涂层,沉积过程中,可以给合金元素部分断电,断电后也可以再供电,断电后,所连接的合金丝处于不工作状态,不会溅射出合金原子或离子,从而可调整涂层中合金元素的含量。 |
申请公布号 |
CN102534290A |
申请公布日期 |
2012.07.04 |
申请号 |
CN201210055337.3 |
申请日期 |
2012.03.06 |
申请人 |
陈照峰 |
发明人 |
陈照峰;丛湘娜;李斌斌 |
分类号 |
C22C5/04(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;C23C14/38(2006.01)I |
主分类号 |
C22C5/04(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种在难熔材料表面的合金元素成分可控的铂族金属合金涂层,其特征在于涂层主体元素为铂或铱,合金元素为锆、铪、钽、铝等但不限于这四种合金元素,以及合金元素的氧化物如ZrO2、HfO2、Ta2O5、Al2O3但不限于这四种氧化物增强成分。 |
地址 |
210007 江苏省南京市白下区四方新村8村3-503 |