超声波测量装置

摘要

本实用新型提供一种超声波测量装置，用于测量晶硅定向凝固炉中熔硅与固定硅之间固液界面的移动速度，该装置包括：电源，用于对所述超声波测量装置进行供电；超声波换能器，包括发送超声波脉冲信号的发送构件、和接收超声波脉冲回波信号的接受构件；超声波导管，连接所述超声波换能器的发送构件与接受构件并延伸至所述定向凝固炉中；信号处理器，连接所述超声波换能器，用于对比所述超声波脉冲信号、和所述超声波脉冲回波信号以计算所述固液界面的移动速度。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：减少人为测试时产生的误差，精确判断固液界面的位置和变化趋势，减少了接触式测量对固液界面前端长晶的干扰，提高了生产效率和质量。

主权项

一种超声波测量装置，用于测量晶硅定向凝固炉中熔硅与固态硅之间固液界面的移动速度，其特征在于，该装置包括：电源，用于对所述超声波测量装置进行供电；超声波换能器，包括发送超声波脉冲信号的发送构件、和接收超声波脉冲回波信号的接受构件；超声波导管，连接所述超声波换能器的发送构件与接受构件并延伸至所述定向凝固炉中；信号处理器，连接所述超声波换能器，用于对比所述超声波脉冲信号、和所述超声波脉冲回波信号以计算所述固液界面的移动速度。