发明名称 FILM-FORMING DEVICE, FILM-FORMING HEAD, AND FILM-FORMING METHOD
摘要
申请公布号 KR20120073272(A) 申请公布日期 2012.07.04
申请号 KR20127008818 申请日期 2010.09.30
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 ONO YUJI;HAYASHI TERUYUKI
分类号 C23C16/455;C23C16/44 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
主权项
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