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发明名称
ABRASIVE COMPOSITIONS FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING AND METHODS FOR USING SAME
摘要
申请公布号
EP2329519(A4)
申请公布日期
2012.07.04
申请号
EP20090816586
申请日期
2009.09.25
申请人
RHODIA OPERATIONS;CLARKSON UNIVERSITY
发明人
BABU, SURYADEVARA, V.;DANDU, PRADEEPA;DEVARAPALLI, VAMSI, K.;CRINIERE, GUILLAUME;PITOIS, CLAIRE
分类号
C09G1/02;C09K3/14;H01L21/3105
主分类号
C09G1/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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