一种生产三氯氢硅的装置及方法

摘要

本发明公开了一种生产三氯氢硅的装置及方法，包括硅粉发送仓，其中，硅粉发送仓的进料口连接有硅粉进料管道，硅粉发送仓的出料口端设有硅粉发送仓出料阀，硅粉发送仓出料阀出口端连接有硅粉输送管道，硅粉输送管道出口端连接有高位料仓，高位料仓的底部出口连接干燥器，硅粉干燥器连接计量罐，计量罐连接合成炉，高位料仓的侧面出口端还通过管道连接有除尘器，除尘器与干燥器之间设有硅粉回收管道。本发明结构简单、安全可靠、安装拆卸方便，由于本发明输送管道、阀门及高位料仓的改造，可以延长输送管道和阀门的使用寿命，减少停车次数，实现三氯氢硅生产的连续性，同时减少硅粉的浪费，减少环境污染，降低了生产成本。

主权项

一种生产三氯氢硅的装置，包括硅粉发送仓（1），其特征在于：硅粉发送仓（1）的进料口连接有硅粉进料管道，硅粉进料管道上设有硅粉进料阀（9），硅粉发送仓（1）的出料口端设有硅粉发送仓出料阀（10），硅粉发送仓出料阀（10）出口端连接有硅粉输送管道（2），硅粉输送管道（2）上有管路进气阀（11）,硅粉输送管道（2）出口端连接有高位料仓（3），高位料仓（3）的底部出口设有干燥器（5），干燥器（5）连接有计量罐（6），计量罐（6）连接有合成炉（7），高位料仓（3）的侧面出口端还通过管道连接有除尘器（4），除尘器（4）与干燥器（5）之间设有硅粉回收管道，除尘器（4）通过硅粉回收管道与干燥器（5）连接，管道上设有硅粉回收管道阀（15），除尘器（4）的出口设有排空阀（16），硅粉输送管道（2）采用陶瓷内衬式复合钢管。