发明名称 温度传感器标定装置及方法
摘要 本发明提供一种温度传感器标定装置,包括恒温水槽、恒温腔室、智能控制结构。本发明采用特有的恒温腔室为恒温水槽提供稳定的工作环境,并多次采集数据取平均值,从而实现高精度的温度标定;本发明还采用特制的传感器接口板可以用一个标准传感器同时标定多个传感器,同时利用温度控制单元和外腔气体回收缩短温度稳定时间,实现了高效率的温度标定;此外,本发明的标定装置结合了现有技术,安装及操作简单,可按不同使用要求进行替换、增加或删减装置,因而可大范围推广使用。
申请公布号 CN102539018A 申请公布日期 2012.07.04
申请号 CN201010618388.3 申请日期 2010.12.30
申请人 上海微电子装备有限公司 发明人 金敏;罗晋;靖俊;张洪博
分类号 G01K15/00(2006.01)I 主分类号 G01K15/00(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种温度传感器标定装置,其特征在于,包括:恒温腔室,所述恒温腔室由水套内腔、水套外腔和冷却水套构成,所述水套内腔、水套外腔均为充满气体的气腔并通过水套内腔两端的端盖开合来连通或断开,所述冷却水套通有冷却液并缠在所述水套内腔外表面,所述水套内腔连接气温传感器监测水套内腔的气体温度,所述水套外腔连接气温调节器调节水套外腔的气体温度,所述冷却水套连接液温传感器和液温调节器分别监测和调节冷却水套内的冷却液温度;恒温水槽,所述恒温水槽一侧设有传感器接口板用以连接标准传感器和待标定传感器,内部装有工作液,并置于所述水套内腔中;智能温度控制结构,所述智能温度控制结构的信号输入端连接所述气温传感器和液温传感器,输出端连接所述恒温水槽、气温调节器及液温调节器。
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