流量测量机构、质量流量控制器以及压力传感器

摘要

本发明提供流量测量机构、质量流量控制器以及压力传感器。所述流量测量机构包括：主体单元，具有被测量的对象流体流动的内部流路；以及压力传感器，安装在所述主体单元上，对内部流路的压力进行检测，所述流量测量机构能够基于所述压力传感器检测到的流体压力算出所述流体的流量，所述主体单元具有长边方向，并且将部件安装面设定为与所述长边方向平行的面，以感压面与所述部件安装面大致垂直且与所述长边方向大致平行的方式，将所述压力传感器安装在所述部件安装面上。由此不会导致压力测量的灵敏度降低，并且与以往相比较，可以显著地减小宽度方向尺寸。

主权项

一种流量测量机构，包括：主体单元，具有被测量的对象流体流动的内部流路；流体阻力部件，切断所述内部流路，并且具有阻力流路，该阻力流路连通被切断而成的上游侧内部流路及下游侧内部流路；以及压力传感器，安装在所述主体单元上，对所述上游侧内部流路或下游侧内部流路中的至少一方的压力进行检测，所述流量测量机构能够基于所述压力传感器检测到的流体压力算出所述流体的流量，所述流量测量机构的特征在于：所述主体单元具有长边方向，并且将部件安装面设定为与所述长边方向平行的面，以感压面与所述部件安装面大致垂直且与所述长边方向大致平行的方式，将所述压力传感器安装在所述部件安装面上。