使用非牛顿流体清洗衬底的方法

摘要

提供了一种用于清洗衬底的方法。在该方法中，提供了非牛顿流体流，其中至少部分流呈现栓塞流。为了从衬底表面去除颗粒，放置衬底表面与呈现栓塞流的流部分接触以使呈现栓塞流的流部分在衬底表面上移动。也描述了用于清洗衬底的另外的方法和装置。

主权项

一种用于清洗衬底的方法，包括：以非牛顿流体填充腔室，该腔室具有输入端和输出端；在输入端将衬底引入该腔室中，并且将衬底悬浮在非牛顿流体中；在输入端关闭开口；迫使另外非牛顿流体通过腔室以产生非牛顿流体流，至少部分流呈现栓塞流，从而非牛顿流体的流部分移动衬底朝向输出端；以及当迫使所述另外非牛顿流体通过腔室时，阻止衬底的水平移动，所述阻止通过与衬底的边缘接触的销实现，其中非牛顿流体流过衬底的表面并且非牛顿流体在输出端处流出。