发明名称 自动制造系统和方法
摘要 一种高效的自动制造系统和方法得以公开。该系统和方法包括隔间,每个隔间具有一组工具。临时存储位置得以提供。传送系统实现材料相对于工具的移动。该系统和方法实现了材料从第一工具到第二工具的直接传送,或者当第二工具不可用的时候,材料从第一工具到临时存放位置的传送。
申请公布号 CN101432673B 申请公布日期 2012.07.04
申请号 CN200780015792.8 申请日期 2007.04.17
申请人 特许半导体制造有限公司 发明人 穆赫德·阿齐兹·戚;瓮田田;坦加攀·吉纳穆蒂;林坚伟;林立洪;布兰登·李
分类号 G05B19/418(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 主分类号 G05B19/418(2006.01)I
代理机构 中国商标专利事务所有限公司 11234 代理人 李宓
主权项 一种自动制造的方法,其包括;使用第一工具发布传送请求,以传送第一工具已经处理完毕的加工材料;确定加工材料的目的地,获得可用目的地列表,从列表中确定储料器或者工具是否是下一个目的地,并在下一个目的地是工具的情况下,确定该工具是否可用;如果该工具不可用,则返回确定列表中的其他工具,直到一个工具被认为可用;若列表中的工具被确定为可用,则获得目的地工具按照优先级的顺序可以处理的批次的列表,根据优先级由高到低进行批次的检验和确认;如果所有的批次都没有通过检验和确认,那么这些批次将被送回到储料器,若批次通过检验和确认,检查工具的状态,在工具的端口和承载器都准备充分时,发布工具的批次保留信息。
地址 新加坡新加坡城