从硬件上防止工艺气体混合的控制方法

摘要

本发明是从硬件上防止工艺气体混合的控制方法，防止不应该混合的气体混合在一起对设备和人身产生损害，特别适用于快速退火炉这类具有多种工艺气体的设备，属于半导体制造领域。该技术主要是从硬件角度实现互锁功能。包括：气路管道、电磁阀、以及控制电磁阀的电路。本发明可以从硬件上保证不该混合的气体混合，避免了软件故障和人为原因造成的气体混合。

主权项

一种从硬件上防止工艺气体混合的控制方法，其特征在于：采用六组常开触点的继电器，控制不同工艺气体的继电器的常开触点串连连接，最多可以控制六路工艺气体。