| 发明名称 | 光学元件的保持布置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及光学元件的保持布置，该保持布置具有围绕要被接收的光学元件的基础结构(3)和安装装置(4)，光学元件(10)借助安装装置(4)能够以绕光轴(z)的旋转运动以及沿第一轴(x)的平移运动的两个自由度被支撑在基础结构(3)上，，所述第一轴垂直于光轴延伸并且与光轴(z)的中心(O)相交，所述安装装置(4)包括四个连结位置(4a、4b、4c、4d)和至少一个平行摇杆(51，52)，所述连结位置布置为相对于中心(O)点对称，至少一个平行摇杆(51、52)可平行于第一轴位移。本发明还涉及具有保持布置的操纵器单元。 | ||
| 申请公布号 | CN102549468A | 申请公布日期 | 2012.07.04 |
| 申请号 | CN201080044073.0 | 申请日期 | 2010.07.23 |
| 申请人 | 卡尔蔡司激光器材有限责任公司;卡尔蔡司SMT有限责任公司 | 发明人 | 乌尔里克.韦伯;赫伯特.霍尔德尔 |
| 分类号 | G02B7/00(2006.01)I;G02B7/02(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;H01L21/20(2006.01)I | 主分类号 | G02B7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 邱军 |
| 主权项 | 光学元件的保持布置，该保持布置具有围绕要被接收的光学元件的基础结构(3)、和安装装置(4)，所述光学元件(10)借助所述安装装置(4)能够以绕光轴(z)的旋转运动以及沿第一轴(x)的平移运动的两个自由度被支撑在所述基础结构(3)上，所述第一轴垂直于光轴延伸并且与光轴(z)的中心(O)相交，其特征在于，所述安装装置(4)包括四个连结位置(4a、4b、4c、4d)和至少一个平行摇杆(51、52)，所述连结位置布置为相对于所述中心(O)点对称，所述至少一个平行摇杆(51、52)是可平行于所述第一轴(x)位移的。 | ||
| 地址 | 德国上科亨 | ||