基于标尺效应的级联光纤F-P微腔温度传感器及其制备方法

摘要

本发明提出一种基于标尺效应的级联光纤F-P微腔温度传感器及其制备方法。该温度传感器包括一根单模光纤和在其内部的第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜，所述第一反射镜和所述第二反射镜形成第一F-P微腔，所述第二反射镜和所述第三反射镜形成第二F-P微腔；一种基于标尺效应的级联光纤F-P微腔温度传感器的制备方法，通过计算机控制，采用飞秒脉冲激光微加工技术，用于制备该温度传感器。本传感器通过标尺效应提高了干涉条纹的对比度，而且同时增大了干涉条纹的自由光谱范围，从而实现高分辨率和大范围的温度测量，并改进工艺以实现低损耗和高性能传感特性，这将在大型系统故障监控和健康监测等领域有广泛的应用前景。

主权项

一种基于标尺效应的级联光纤F‑P微腔温度传感器，其特征在于，包括一根单模光纤（1）和在其内部的第一反射镜（2）、第二反射镜（3）、第三反射镜（4），所述第一反射镜（2）和所述第二反射镜（3）形成第一F‑P微腔（5），所述第二反射镜（3）和所述第三反射镜（4）形成第二F‑P微腔（6）；所述第一反射镜（2）、所述第二反射镜（3）以及所述第三反射镜（4）是分别通过飞秒脉冲激光沿所述单模光纤（1）内部纤芯的径向改变光纤的纤芯区域折射率形成的反射面；所述第一反射镜（2）和所述第二反射镜（3）之间的距离L1、所述第二反射镜（3）和所述第三反射镜（4）之间的距离L2的范围均为50~6000μm，但是这两个距离并不相同，一般取L1为L2的2倍。