| 发明名称 | 一种硅片清洗液 | ||
| 摘要 | 本发明一种硅片清洗液，由表面活性剂、乙醇、氟化氢、EDTA二钠、三乙醇胺、柠檬酸、去离子水，进行搅拌混合，形成清洗液，本发明制备方法简单，对环境无不利影响，且表面去污力强，可保持清洁度的持续性，对于多晶硅片等物料具有良好的清洁效果，并且提高了清洗速度和耐用性能；本发明通过乙醇对硅片表面有机沾污进行清洗，另外，通过氟化氢对氧化层进行清洗，从而，使硅片的清洗更加彻底，且对金属离子有较强的清洗作用，从而，提高了硅片的后续使用性能。 | ||
| 申请公布号 | CN102533470A | 申请公布日期 | 2012.07.04 |
| 申请号 | CN201110448381.6 | 申请日期 | 2011.12.29 |
| 申请人 | 镇江市港南电子有限公司 | 发明人 | 聂金根 |
| 分类号 | C11D7/26(2006.01)I;C11D7/08(2006.01)I | 主分类号 | C11D7/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人 | 季萍 |
| 主权项 | 1.一种硅片清洗液，其特征在于，由以下成分组成(按重量份数计)：<img file="FDA0000126300520000011.GIF" wi="1092" he="835" /> | ||
| 地址 | 212211 江苏省镇江市新区大港机电工业园东方路 | ||