发明名称 |
圆片级封装优化工艺 |
摘要 |
一种圆片级封装优化工艺,包括:在芯片的焊盘上形成键合金属凸块,所述键合金属凸块高于钝化层表面;在芯片上形成保护胶,所述保护胶将钝化层和键合金属凸块覆盖;研磨保护胶层,使键合金属凸块的表面裸露;在裸露的键合金属凸块表面上形成焊料凸点并回流。本发明工艺具有流程短、易管控、低成本、高性能的优点。 |
申请公布号 |
CN102543781A |
申请公布日期 |
2012.07.04 |
申请号 |
CN201210014210.7 |
申请日期 |
2012.01.17 |
申请人 |
南通富士通微电子股份有限公司 |
发明人 |
石磊;吴晓纯;陶玉娟;高国华 |
分类号 |
H01L21/60(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/60(2006.01)I |
代理机构 |
北京市惠诚律师事务所 11353 |
代理人 |
雷志刚;潘士霖 |
主权项 |
一种圆片级封装优化工艺,其特征在于,包括步骤:在芯片的焊盘上形成键合金属凸块,所述键合金属凸块高于钝化层表面;在芯片上形成保护胶,所述保护胶将钝化层和键合金属凸块覆盖;研磨保护胶层,使键合金属凸块的表面裸露;在裸露的键合金属凸块表面上形成焊料凸点并回流。 |
地址 |
226006 江苏省南通市崇川区崇川路288号 |