发明名称 圆片级封装优化工艺
摘要 一种圆片级封装优化工艺,包括:在芯片的焊盘上形成键合金属凸块,所述键合金属凸块高于钝化层表面;在芯片上形成保护胶,所述保护胶将钝化层和键合金属凸块覆盖;研磨保护胶层,使键合金属凸块的表面裸露;在裸露的键合金属凸块表面上形成焊料凸点并回流。本发明工艺具有流程短、易管控、低成本、高性能的优点。
申请公布号 CN102543781A 申请公布日期 2012.07.04
申请号 CN201210014210.7 申请日期 2012.01.17
申请人 南通富士通微电子股份有限公司 发明人 石磊;吴晓纯;陶玉娟;高国华
分类号 H01L21/60(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I 主分类号 H01L21/60(2006.01)I
代理机构 北京市惠诚律师事务所 11353 代理人 雷志刚;潘士霖
主权项 一种圆片级封装优化工艺,其特征在于,包括步骤:在芯片的焊盘上形成键合金属凸块,所述键合金属凸块高于钝化层表面;在芯片上形成保护胶,所述保护胶将钝化层和键合金属凸块覆盖;研磨保护胶层,使键合金属凸块的表面裸露;在裸露的键合金属凸块表面上形成焊料凸点并回流。
地址 226006 江苏省南通市崇川区崇川路288号