一种扫描式测头测量装置

摘要

一种扫描式测头测量装置，属于精密测量领域，适用于微位移量测量以及二维微小尺寸测量，其包括有机械测头部分和光栅信号处理部分；在所述的机械侧头部分中包括有两层平行簧片结构组；所述的两层平行簧片结构相互垂直；使用本发明的一种扫描式测头测量装置，结构简单紧凑，体积小重量轻，运动时无摩擦影响。避免了现有扫描测头结构复杂，使用不便的缺点；与目前的采用楼式结构的平行簧片组合结构相比，本装置更加适合水平安装进行测量，不需要重力平衡机构。

主权项

一种扫描式测头测量装置，其包括有机械测头部分和光栅信号处理部分；其特征在于：在所述的机械侧头部分中包括有两层平行簧片结构组；所述的两层平行簧片结构相互垂直；与测头外壳(2)相连有测头Y轴固定端(25)，Y轴固定端(25)固接有Y轴光栅读数头(23)；转接板(22)呈L形，其一支端连接有X轴光栅读数头(18)，另一支端上固定有Y轴光栅尺(27)，X轴光栅读数头(18)与Y轴光栅尺(27)的位置相互垂直；所述的Y轴光栅读数头(23)正对Y轴光栅尺(27)；两块侧板(24)分别通过簧片(16)与Y轴固定端(25)和转接板(22)相连，两块侧板(24)分别位于所述Y轴光栅尺(27)的两侧且相互平行；X轴移动端(19)上固接有X轴光栅尺(17)，X轴光栅尺(17)正对着X轴光栅读数头(18)；两块侧板(24)通过簧片(16)与X轴移动端(19)和转接板(22)的一个支端相连，两块侧板(24)分别位于X轴光栅尺(17)的两侧并相互平行；测针(3)固定于X轴移动端(19)上；所述的X轴光栅读数头(18)与Y轴光栅读数头(23)相互垂直；由X轴光栅读数头(18)和Y轴光栅读数头(23)分别引出光栅线缆(7)，光栅线缆(7)接入光栅信号处理部分的光栅信号接口(15)。