泵装置及其控制方法

摘要

本发明提供一种不依赖于外界空气温度可使排出流量稳定的泵装置及其控制方法。所述泵装置的控制方法包括：输出用于以从泵本体的排出口排出标准流量的气体的旋转速度来驱动电机的驱动信号；利用安装于所述泵本体的温度传感器，测量从所述排出口排出的气体的温度或所述泵本体的温度；根据所述温度传感器的输出中所包含的与所述气体温度相关的温度信号，计算从所述排出口排出的所述气体的实际流量；修正所述驱动信号，并将经过修正的驱动信号向所述电机输出，以使所述实际流量与所述标准流量一致。

主权项

一种泵装置，其特征在于，包括：泵本体，该泵本体具有吸入口、排出口、可分别与该吸入口以及该排出口连通的泵室、交互进行向该泵室吸入气体与从该泵室排出气体的可动构件、以及驱动部；该驱动部驱动该可动构件，并包括能根据旋转速度使从该排出口排出的气体的流量发生变化的电机；温度传感器，该温度传感器安装于该泵本体上，通过测量从该排出口排出的气体的温度或该泵本体的温度来输出与该气体的温度相关的温度信号；以及控制器，该控制器具有输入对从该排出口排出的该气体的标准流量进行指定的外部信号的输入部、根据该温度信号计算从该排出口排出的该气体的实际流量的计算部、以及输出修正该电机的旋转速度的修正信号以使该实际流量与该标准流量一致的输出部。