延长化学机械抛光垫修整器的使用寿命的方法

摘要

本发明提供一种延长一化学机械抛光垫修整器的使用寿命的方法，包括利用所述的修整器修整所述的化学机械抛光垫；凭借测量所述的抛光垫、修整器或其组合的机械性质而测定超研磨颗粒的磨损；凭借改变所述的抛光垫和修整器之间与超研磨颗粒的磨损有关的压力和机体转速而适应该机械性质测量值，以延长修整器寿命。另外，一方法可包括以所述的修整器修整所述的化学机械抛光垫；以一实质上平行于所述的抛光垫的工作表面的方向振动选自于抛光垫、修整器、晶圆或其组合的元件；以及当修整器在使用时以非线性的方式随着时间改变所述的抛光垫和修整器之间的压力和/或机体转速，以延长修整器寿命，其中当化学机械抛光垫表面出现磨损，所述的压力和RPM是增加的。

主权项

一种延长化学机械抛光垫修整器的使用寿命的方法，该化学机械抛光垫修整器用于修整化学机械抛光垫，所述的修整器具有一基座以及复数设置在所述的基座上的超研磨颗粒，其特征在于，所述的方法包括：凭借所述的修整器修整所述的化学机械抛光垫；凭借测量所述的抛光垫、修整器或其组合的机械性质而测定超研磨颗粒的磨损；凭借改变所述的抛光垫和修整器之间与超研磨颗粒的磨损有关的压力和机体转速而适应该机械性质测量值，以延长修整器寿命；其中，该延长化学机械抛光垫修整器的使用寿命的方法还包括以一实质上平行于所述的抛光垫的工作表面的方向振动至少一元件，该元件选自于抛光垫、修整器、被所述的抛光垫抛光的晶圆或任何其组合，以使在抛光垫、修整器、晶圆或其组合上的机械应力最小化。