发明名称 在聚焦离子束显微镜中进行快速样品制备的方法和装置
摘要 本发明公开了一种在聚焦离子束显微镜中进行快速样品制备的方法和装置,用于制备TEM样品架(170)的样坯(100),其包括片材(120),所述片材包括TEM样品架模板(170)。片材(120)至少有一部分将TEM样品架模块(170)与片材的其他部分相连。通过在压机中从样坯上切出TEM样品架模板(170)而形成TEM样品架(170),所述切削将纳操作器探针末梢(150)的针尖(160)与所形成的TEM样品架(170)相接合,所述探针(150)的针尖(160)上连接有样品,用于在TEM中进行检验。
申请公布号 CN101644639B 申请公布日期 2012.07.04
申请号 CN200910164657.0 申请日期 2004.11.03
申请人 全域探测器公司 发明人 托马斯·穆尔
分类号 G01N1/28(2006.01)I;G01N1/36(2006.01)I;G01N23/04(2006.01)I;G01N23/20(2006.01)I 主分类号 G01N1/28(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 王琼先;王永建
主权项 一种用于制备透射电子显微镜样品架的组件,所述组件包括:透射电子显微镜样坯,至少一个探针末梢,所述探针末梢具有探针针尖;和压机,用于将每个探针针尖接合到透射电子显微镜样坯上并从该样坯上切出透射电子显微镜样品架。
地址 美国得克萨斯