硅片取出及并排输送装置

摘要

本实用新型涉及一种硅片取出及并排输送装置，包括在机架上设置的硅片盒上下料机构、硅片盒升降机构、取硅片机构、硅片输送机构与硅片并排送出机构，硅片盒上下料机构与硅片盒升降机构配合，硅片盒升降机构与取硅片机构配合，取硅片机构与硅片输送机构配合，硅片输送机构与硅片并排送出机构配合。本实用新型可以实现连续取硅片，取硅片方便，避免人工取片造成的破损，提高了硅片制造效率。

主权项

一种硅片取出及并排输送装置，包括在机架（1）上设置的硅片盒上下料机构、硅片盒升降机构、取硅片机构、硅片输送机构与硅片并排送出机构，硅片盒上下料机构与硅片盒升降机构配合，硅片盒升降机构与取硅片机构配合，取硅片机构与硅片输送机构配合，硅片输送机构与硅片并排送出机构配合；其特征是：所述的硅片并排送出机构包括两块送出内侧板（20），两块送出内侧板（20）设有两块送出外侧板（19），在两块送出内侧板（20）的相对侧壁的左右两端上均安装有送出滚轮（52），在两块送出外侧板（19）的相对侧壁的左右两端上均安装有送出滚轮（52），在每块送出内侧板（20）上左右两端的送出滚轮（52）上均设有送出输送带（53），在每块送出外侧板（19）上左右两端的送出滚轮（52）上均设有送出输送带（53）；在送出内侧板（20）与送出外侧板（19）上转动安装有传动轴（51），在传动轴（51）上设有四个传动滚轮（53），四个传动滚轮（53）与四条送出输送带（53）配合，在传动轴（51）的端部固定有送出被动皮带轮（21），在机架（1）上安装有送出电机（22），在送出电机（22）的输出轴上安装有送出主动皮带轮（54），送出主动皮带轮（54）与送出被动皮带轮（21）上设有驱动皮带。