基板传输装置、基板传输方法及基板传输系统

摘要

一种用于搬运大面积基板的基板传输装置、基板传输方法及基板传输系统，所述基板传输装置设置于真空传输腔室内，包括：转台，设置于滑轨的下方，用于旋转所述滑轨；滑轨；搬运机械手，位于所述滑轨上；位于所述滑轨和所述真空传输腔室底面之间的支撑结构，用于防止所述滑轨受重变形。本发明增加了支撑结构，当基板传输装置中的搬运机械手转动到滑轨一端时，所述支撑结构起支撑作用，可以防止所述搬运机械手滑行到滑轨一端时，滑轨因受重而变形，从而增大了基板传输过程中的安全性；支撑结构并不是始终起支撑作用，从而减小了基板传输装置的转动阻力。

主权项

一种基板传输装置，所述基板传输装置设置于真空传输腔室内，包括：转台，设置于所述真空传输腔室的底面上；滑轨，搬运机械手，位于所述滑轨上，其特征在于，还包括：位于所述滑轨和所述真空传输腔室的底面之间的支撑结构，用于防止所述滑轨受重变形。