发明名称 基于三窗口的共光路干涉检测方法与装置
摘要 基于三窗口的共光路干涉检测方法与装置属于光学干涉检测领域;该方法与装置将平行光通过待测物体和矩形窗口构成的三窗口后,再依次经过第一透镜、一维周期光栅和第二透镜后,射向图像传感器,经由图像传感器及与图像传感器相连的计算机采集获得一幅含有三个图样的干涉图,强度分布分别为I-D/3、I0和ID/3,代入公式计算待测物体的相位分布;本方法与装置具有稳定性好、系统复杂度低、相位恢复算法简单的特点。
申请公布号 CN102538986A 申请公布日期 2012.07.04
申请号 CN201210022766.0 申请日期 2012.01.05
申请人 哈尔滨工程大学 发明人 单明广;钟志;郝本功
分类号 G01J9/02(2006.01)I 主分类号 G01J9/02(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 1.一种基于三窗口的共光路干涉检测方法,其特征在于:①、平行光通过待测物体和矩形窗口构成的三窗口后,再依次经过第一透镜、一维周期光栅和第二透镜后,射向图像传感器,由图像传感器及与图像传感器相连的计算机采集获得一幅干涉图样;②、根据所采集的干涉图样,依据三窗口尺寸分割干涉图样获得三幅干涉图样强度分布分别为I<sub>-D3</sub>、I<sub>0</sub>和I<sub>D/3</sub>,去除直流分量之后,由以下公式计算:<img file="FSA00000664257400011.GIF" wi="1587" he="222" />计算获得待测物体的相位分布<img file="FSA00000664257400012.GIF" wi="179" he="64" />式中,P()表示对信号进行归一化,并线性拉伸到-1~1之间。
地址 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区南通大街145号