一种用于金属有机化学气相沉积反应器的斜入式气体喷淋头

摘要

一种用于金属有机化学气相沉积反应器的斜入式气体喷淋头，所述斜入式气体喷淋头包括位于反应腔室上方的气体喷射板，该气体喷射板上方设有气体连接板，在气体连接板与气体喷射板之间设有至少两个层叠的气体分布板；所述气体连接板上设置有若干气体接口及冷却液接口，且在该气体分布板及气体喷射板上设置有若干相互隔离的气体通道，所述气体通道包括与相应的气体接口连通的第一前体气体通道、第二前体气体通道和载气通道，以及与冷却液接口连通的冷却液通道。本发明解决了水平式反应器中存在的沿气流方向反应物耗尽的问题，同时也避免了垂直式反映器中不容易形成稳定层流的缺点。

主权项

一种用于金属有机化学气相沉积反应器的斜入式气体喷淋头，其特征是，包括位于反应腔室(101)上方的气体喷射板(14)，该气体喷射板(14)上方设有气体连接板(6)，在气体连接板(6)与气体喷射板(14)之间设有至少两个层叠的气体分布板(8，10)；所述气体连接板(6)上设置有若干气体接口(1，2，3)及冷却液接口(4，5)，且在该气体分布板(6)及气体喷射板(14)上设置有若干相互隔离的气体通道，所述气体通道包括与相应的气体接口(1，2，3)连通的第一前体气体通道(9，19)、第二前体气体通道(13，20)和载气通道(16)，以及与冷却液接口(4，5)连通的冷却液通道(15，21，26，27)。