基于静电力原理的垂直式超微力值测量装置及其溯源方法

摘要

一种基于静电力原理的垂直式超微力值测量装置及其溯源方法，装置是：顶端固定连接在受力平台底部的中心轴，中心轴的底端固定连接有内电极，且受力平台的中心与中心轴和内电极的轴线处于同一直线，内电极的底部固定有光滑的反射平面，内电极5的外侧套有外电极，弹性悬挂装置的上部固定连接在中心轴上，弹性悬挂装置的下部固定设置在垂直式超微力值测量装置支架上，在与内电极相对应的下方设置有激光干涉仪。方法：计算电容器的电容梯度值；记录内电极的平衡位置；计算静电力值；得到实际的电容梯度值曲线；得到通过电容梯度曲线溯源到标准质量的微小力值。本发明为标定微力传感器，以及在微机电系统、生物芯片制造技术中的微力检测器等提供设备手段。

主权项

一种基于静电力原理的垂直式超微力值测量装置，其特征在于，包括：受力平台(1)，顶端固定连接在受力平台(1)底部并随受力平台(1)的压力上、下移动的中心轴(7)，所述中心轴(7)的底端固定连接有内电极(5)，且受力平台(1)的中心与中心轴(7)和内电极(5)的轴线处于同一直线，所述的内电极(5)的底部固定有光滑的反射平面，内电极5的外侧套有外电极(4)，还设置有弹性悬挂装置(2)，所述的弹性悬挂装置(2)的上部固定连接在中心轴(7)上，所述的弹性悬挂装置(2)的下部固定设置在垂直式超微力值测量装置支架上，在与所述的内电极(5)相对应的下方设置有激光干涉仪(6)。