发明名称 |
具有分离栅极和超级连接结构的半导体元件 |
摘要 |
本发明公开了一种具有分离栅极和超级连接结构的半导体元件。该半导体元件包括一源极区域、一漏极区域与一漂移区域。漂移区域介于源极区域与漏极区域之间。一分离栅极设置于漂移区域的一部份的上方处,且介于源极区域与漏极区域之间。分离栅极包括第一与第二栅极电极,通过一栅极氧化层区分第一与第二栅极电极。一超级连接结构设置于漂移区域中,且超级连接结构位于栅极与漏极区域之间。 |
申请公布号 |
CN102544090A |
申请公布日期 |
2012.07.04 |
申请号 |
CN201010583417.7 |
申请日期 |
2010.12.07 |
申请人 |
旺宏电子股份有限公司 |
发明人 |
吴锡垣;陈永初;朱建文 |
分类号 |
H01L29/78(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/78(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
周国城 |
主权项 |
一种半导体元件,其特征在于,包括:一源极区域;一漏极区域;一漂移区域,介于该源极区域及该漏极区域之间;一分离栅极,设置于该漂移区域的一部份之上,且该分离栅极位于该源极区域及该漏极区域之间,该分离栅极包括一第一栅极电极及一第二栅极电极,该第一栅极电极及该第二栅极电极通过一栅极氧化层隔离;以及一超级连接结构,设置于该漂移区域中,且该超级连接结构位于该分离栅极及该漏极区域之间。 |
地址 |
中国台湾新竹科学工业园区力行路16号 |