发明名称 | 用于板式封装的自适性图案化 | ||
摘要 | 本发明描述一种用于制造基于面板的封装结构的自适性图案化方法和系统。可通过测量每一个别装置单元的位置且在相应装置单元中的每一者之上形成单元特定图案来调整面板或网状晶片中的个别装置单元的未对准。 | ||
申请公布号 | CN102549732A | 申请公布日期 | 2012.07.04 |
申请号 | CN201180001658.9 | 申请日期 | 2011.02.16 |
申请人 | 迪卡科技公司 | 发明人 | 克里斯多夫·司堪蓝;堤姆·欧尔森 |
分类号 | H01L21/60(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/60(2006.01)I |
代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 许静;黄灿 |
主权项 | 一种自适性图案化方法,其包括:测量面板的多个装置单元中的每一者的位置;基于相应装置单元中的每一者的所测量位置,创建用于相应多个装置单元中的每一者的单元特定图案;以及在所述多个装置单元中的每一者之上形成所述单元特定图案,其中每一单元特定图案与所述相应装置单元对准。 | ||
地址 | 英属开曼群岛乔治敦 |