| 发明名称 | 一种酸性蚀刻液的处理方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种酸性蚀刻液的处理方法，包括：(1)用酸性混合溶液对硅片进行蚀刻处理，将蚀刻处理后的混合溶液稀释，对混合溶液中的氢氟酸和/或醋酸通过非水中和滴定法进行定量分析，对混合溶液中的硝酸通过硝酸根电极进行定量分析，得到蚀刻后混合溶液的组成浓度增减量；(2)根据上述增减量，在蚀刻过程中或在循环液中添加浓度减少的酸，重新作为硅片的处理液即可。本发明通过蚀刻过程中排出的混合废酸液的有效利用，经济效益显著的同时，大大降低含有强酸成分的混合酸废液的排放，在环境问题上也具有巨大的效益。 | ||
| 申请公布号 | CN102534621A | 申请公布日期 | 2012.07.04 |
| 申请号 | CN201210039680.9 | 申请日期 | 2012.02.21 |
| 申请人 | 上海正帆科技有限公司;上海正帆半导体设备有限公司;上海交通大学 | 发明人 | 顾顺超;管世兵;严俊 |
| 分类号 | C23F1/46(2006.01)I | 主分类号 | C23F1/46(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人 | 黄志达;谢文凯 |
| 主权项 | 一种酸性蚀刻液的处理方法，包括：(1)用酸性混合溶液对硅片进行蚀刻处理，将蚀刻处理后的混合溶液稀释，对混合溶液中的氢氟酸和/或醋酸通过非水中和滴定法进行定量分析，对混合溶液中的硝酸通过硝酸根电极进行定量分析，得到蚀刻后混合溶液的组成浓度增减量；(2)根据上述增减量，在蚀刻过程中或在循环液中添加浓度减少的酸，重新作为硅片的处理液即可。 | ||
| 地址 | 201108 上海市闵行区春中路56号106-108室 | ||