制造超声换能器组装件的方法

摘要

本发明名称为“制造超声换能器组装件的方法”。提供了一种制造多个超声换能器组装件(10)的方法。该方法包括：将可图案化材料(20)的一个或多个层施加到包含多个管芯(32)的晶圆(30)的至少部分表面。该方法进一步包括：图案化可图案化材料(20)以定义多个开口(20)，在开口(22)的相应一些中部署超声阵列(40)，将超声阵列(40)耦合到相应管芯(32)以形成相应超声换能器组装件(10)，以及分离超声换能器组装件以形成单独超声换能器组装件(10)，其中每个开口与管芯(32)中相应的一个对齐。

主权项

一种制造多个超声换能器组装件(10)的方法，所述方法包括：将可图案化材料(20)的一个或多个层施加到包含多个管芯(32)的晶圆(30)的至少部分表面；图案化所述可图案化材料(20)以定义多个开口(22)，其中所述开口的每个与所述管芯(32)中相应的一个对齐；将多个超声阵列(40)部署在所述开口(22)的相应一些中；将所述超声阵列(40)耦合到所述相应管芯(32)以形成相应的所述超声换能器组装件(10)；以及分离所述超声换能器组装件以形成单独的超声换能器组装件(10)。