具有防尘功能的微机电元件的制作方法

摘要

本发明涉及一种具有防尘功能的微机电元件与制作方法。该具有防尘功能的微机电元件，包含：一个基板，其上包含微机电元件区域，该微机电元件区域中包含与其他部分区隔开的微机电结构部分；沉积于该基板上，防护微尘粒子的防尘层；以及位于该防尘层之上的遮蔽层，其中，在沉积该防尘层前，该微机电结构部分尚未与其他部分区隔开。

主权项

一种具有防尘功能的微机电元件的制作方法，其特征在于，包含：提供一个基板；在该基板上形成微机电元件区域，此时微机电元件中悬浮的微机电结构部分尚未与其他部分区隔开；沉积一层防护微尘粒子的防尘层；在该防尘层之上沉积遮蔽层；以及定义遮蔽层图案，并根据该遮蔽层的图案穿过该防尘层对该微机电元件区域进行蚀刻，以使微机电元件区中悬浮的微机电结构部分与其他部分区隔开。