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太阳能真空管高选择性吸收涂层的制备方法，其特征在于，采用磁控反应溅射法，溅射气体为氩气，反应气体为高纯氮气和四氟化碳气体，设备使用一台三靶磁控溅射镀膜机，首先在玻璃管内管外壁上磁控反应溅射沉积一层氮化钛TiN抗红外反射膜，再沉积两层氮化铝‑不锈钢AlN‑SS复合吸收膜，最后沉积一层铝‑碳‑氟A1‑C‑F复合保护膜，最终形成玻璃/氮化钛/氮化铝‑不锈钢/铝‑碳‑氟组成的选择性吸收涂层；具体步骤如下：抗红外反射膜，氮化钛TiN的溅射工作压强0.2‑0.5Pa，反应气体高纯氮气，氮气量20‑200Sccm，溅射厚度0.04‑0.3μm；第一复合吸收膜，氮化铝‑不锈钢AlN‑SS的溅射工作压强0.2‑0.8Pa，反应气体高纯氮气，氮气量60‑150Sccm，钢靶电流20‑40A，溅射厚度0.04‑0.1μm第二复合吸收膜，氮化铝‑不锈钢AlN‑SS的溅射工作压强0.2‑0.8Pa，反应气体高纯氮气，氮气量60‑150Sccm，钢靶电流8‑20A，溅射厚度0.04‑0.15μm抗辐射复合保护膜，铝‑碳‑氟Al‑C‑F的溅射工作压强0.2‑0.8Pa，反应气体四氟化碳，四氟化碳气量30‑200Sccm，溅射厚度0.03‑0.12μm。 |
