一种铝钼蚀刻液及其制备方法

摘要

本发明公开了一种铝钼蚀刻液及其制备方法，所述铝钼蚀刻液包括以下重量百分比的组合物：磷酸60％～80％；硝酸1％～10％；醋酸钠1％～10％；聚氧乙烯烷基苯基醚0.1％～0.5％；水10％～30％。本发明提供的铝钼蚀刻液及其制备方法，通过在铝钼蚀刻液中引入的醋酸钠起到了缓冲剂的作用，使刻蚀速度得到控制，从而达到控制住刻蚀角度的要求，能满足不同客户对刻蚀角度的要求；加入非离子型界面活性剂聚氧乙烯烷基苯基醚，使产品对金属层的渗透性提高，从而达到控制刻蚀量的要求，能满足不同客户对刻蚀量的要求。

主权项

一种铝钼蚀刻液，其特征在于，包括以下重量百分比的组合物：磷酸                    60％～80％；硝酸                    1％～10％；醋酸钠                  1％～10％；聚氧乙烯烷基苯基醚      0.1％～0.5％；水                      10％～30％。