喷液头、喷液装置及致动装置

摘要

本发明提供抑制应力集中、抑制压电元件损坏的喷液头、喷液装置和致动装置。本发明的喷液头具备：压电元件(300)，包括设置于设置有与喷射液体的喷嘴开口(21)连通的压力发生室(12)的流路形成基板(10)的一面侧的第一电极(60)、压电体层(70)和第二电极(80)；和保护膜(100)，覆盖压电元件并设有使第二电极的上表面露出的开口部(101)，包含无机绝缘材料，压电元件在压电元件的驱动时以向压力发生室侧变凸的方式变形，保护膜的开口部在压力发生室的长度方向的端部(E1)与该变形时的压电元件在压力发生室的周壁附近的弯曲形状的曲率中心处于压力发生室侧的区域(S1)相比位于侧。喷液装置具备该喷液头。

主权项

一种喷液头，其特征在于，具备：压电元件，所述压电元件包括第一电极、压电体层和第二电极，所述第一电极、压电体层和第二电极设置于流路形成基板的一面侧，所述流路形成基板设置有与喷射液体的喷嘴开口相连通的压力发生室；和保护膜，所述保护膜由具有耐湿性的无机绝缘材料形成，覆盖所述压电元件并且设置有使所述第二电极的上表面露出的开口部，所述压电元件在所述压电元件的驱动时，以向所述压力发生室侧凸出的方式变形，所述保护膜的所述开口部在所述压力发生室的长度方向上的端部，与该变形时的所述压电元件在所述压力发生室的周壁附近的弯曲形状的曲率中心处于压力发生室侧的区域相比，位于中央侧。