线型多波长共焦显微镜模块以及其共焦显微方法与系统

摘要

本发明提供线型多波长共焦显微系统，其利用两个以上的色差透镜，使一线入射光场产生色散而使不同波长聚焦于不同的位置。本发明更利用具有线扫描共焦原理及光源色散技术的该线型多波长共焦显微镜模块，以具有光学切片能力的共焦显微技术，配合光谱色散的高解析，发展长景深高解析的光学微形貌轮廓量测技术与系统。本发明的方法与系统利用宽频的线光源，由该色散物镜模块，使宽频光源产生轴向色散并聚焦在不同深度，同时获得聚焦表面反射光谱，经由狭缝进行空间滤波由线光谱影像感测单元精确侦测出光谱聚焦反应曲线的峰值位置，可精确且快速地完成剖面轮廓量测。

主权项

一种线型多波长共焦显微镜模块，其特征在于，包括有：一线光源模块，其提供一线入射光场；一色散物镜，其设置于该线光源模块的一侧，该色散物镜具有两个以上的色差透镜，该色散物镜使该线入射光场产生轴向色散，使得该线入射光场聚焦形成多个具有不同深度的子线光场，每一个子线光场具有不同波长，该多个子线光场经由一物体反射通过该色散物镜后而聚焦在共同的一平面上；以及一空间滤波元件，其设置于该多个子线光场的共同聚焦的该平面上。