发明名称 半导体封装用薄型基板的制造方法
摘要 本发明公开一种半导体封装用薄型基板的制造方法,其首先提供一厚度不大于0.2毫米的薄型基板,所述薄型基板的四周具有一无效边区,所述无效边区环绕至少一有效区块;接着,通过电镀或蚀刻工艺并搭配光刻胶的使用,以形成一加厚的强化框条于所述无效边区上;在去除所述光刻胶层后,即可得到具有所述强化框条的薄型基板,以提高所述薄型基板的抗弯曲性能。
申请公布号 CN101930928B 申请公布日期 2012.07.04
申请号 CN200910053942.5 申请日期 2009.06.26
申请人 日月光半导体(上海)股份有限公司 发明人 高洪涛;罗光淋;方仁广;任金虎;孙骐
分类号 H01L21/48(2006.01)I;H01L23/13(2006.01)I 主分类号 H01L21/48(2006.01)I
代理机构 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 代理人 翟羽
主权项 一种半导体封装用薄型基板的制造方法,其特征在于:所述制造方法包含步骤:提供一薄型基板,所述薄型基板的四周具有一无效边区,所述无效边区环绕至少一有效区块;形成一光刻胶层覆盖于所述有效区块上,并裸露所述无效边区的一金属表面;电镀形成一加厚的强化框条于所述无效边区的金属表面上;以及去除所述光刻胶层。
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区郭守敬路669号