一种减小在线扫描电子显微镜误测定的方法

摘要

在先进的半导体制造工艺中，条宽控制一直是重中之重。扫描电子显微镜作为在线条宽测量设备，要求能够最大限度地减少误测，确保数据真实可靠。但在实际操作中，误测定难以避免。尤其在测量较细的密集线条时，很容易出现想要测量线条却测成了相邻间距的情况。本发明提出一种减小在线扫描电子显微镜误测定的方法，其通过在测量中对所测结构二次电子信号进行分析的方法来判断所测结构是线条还是间距，再将其与测量文件要求的结构进行比较，判定二者是否一致，并在判定二者不一致时自动向左或向右移动半个空间周期来测量正确结构，从而有效减少误测定。

主权项

一种集成电路工艺中减小在线扫描电子显微镜误测定的方法，其特征在于，对所测结构的性质是线条还是间距进行判断，并将其与文件要求进行比较，如果与文件要求的结构性质不一致，则调整上述显微镜向左或向右移动半个空间间距以检测正确结构；其中判断上述所测结构性质时所采用的信号为二次电子信号，上述二次电子信号为对上述所测结构扫描时获取的电子信号；判断上述所测结构性质时是利用上述二次电子信号左半段信号最高点和最低点出现的顺序进行判定；当上述二次电子信号左半段信号先后依次出现最低点和最高点时判定上述所测结构的性质为线条，当上述二次电子信号左半段信号先后依次出现最高点和最低点时判定上述所测结构的性质为间距。