角速度测量方法和振动微机械角速度传感器

摘要

本发明涉及一种用于测量角速度的测量装置，更具体地，涉及振动微机械角速度传感器。在本发明的角速度传感器的方案中，质量块借助于具有非正交的主轴和次轴的弹性结构被悬挂着，从而在检测谐振器中引起与主运动同相的测试激发，并且借助于相位检测器从主运动与次运动之间的相位差检测待测量的角速度。特别是在用于角速度传感器的小型振动微机械方案中，本发明的角速度传感器的结构能够以良好性能实现可靠测量。

主权项

一种借助于振动微机械角速度传感器测量角速度的方法，所述角速度传感器包括至少一个测震质量块和与所述质量块关联的活动电极，所述质量块具有要被激发的主运动且除了所述主运动之外还具有倾斜于所述主运动的次运动的第二自由度，并且所述质量块借助于弹性结构被支撑于传感器元件的主体处，其特征在于，在所述方法中，通过具有非正交的主轴和次轴的弹性悬架将所述质量块悬挂，在检测谐振器中引起与所述主运动同相的测试激发，并且借助于相位检测器从所述主运动与次运动之间的相位差相敏地检测待测量的角速度。