发明名称 |
蒸镀装置 |
摘要 |
本发明公开了一种蒸镀装置,其上的压紧件抵压于蒸发舟的末端之上并与支撑座可拆卸地连接;其中,由支撑座的支撑表面纵向延伸出两护板,两护板之间形成支撑区域,蒸发舟的末端承载于支撑区域中,压紧件与蒸发舟配合时,压紧件被收容于支撑区域中;护板与压紧件沿同一直线均开设有通孔,一铰轴枢接地穿过通孔使压紧件与支撑座枢接;压紧件包括抵触部和紧固部,抵触部抵触于蒸发舟的末端之上,紧固部与蒸发舟的末端相分离,当拆卸蒸发舟时,压紧件绕铰轴向紧固部的方向旋转。本发明蒸镀装置结构简单、更换便捷,而且电连接性能良好,从而使得工作效率高、稳定性好,且使用寿命长久。 |
申请公布号 |
CN101792893B |
申请公布日期 |
2012.07.04 |
申请号 |
CN200910215334.X |
申请日期 |
2009.12.23 |
申请人 |
东莞宏威数码机械有限公司 |
发明人 |
杨明生;刘惠森;范继良;叶宗锋;王曼媛;王勇 |
分类号 |
C23C14/24(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/24(2006.01)I |
代理机构 |
广州三环专利代理有限公司 44202 |
代理人 |
张艳美;郝传鑫 |
主权项 |
一种蒸镀装置,包括蒸发舟以及分别与所述蒸发舟的两末端相连的两支撑台,其特征在于,每一所述支撑台包括:支撑座,所述支撑座具有支撑所述蒸发舟的支撑表面,所述蒸发舟的末端固定于所述支撑表面上;电极块,所述电极块具有承载所述支撑座的配合表面,所述支撑座连接于所述配合表面上以实现电连接;压紧件,所述压紧件抵压于所述蒸发舟的末端之上并与所述支撑座可拆卸地连接;其中,由所述支撑座的支撑表面纵向延伸出两护板,两所述护板之间形成支撑区域,所述蒸发舟的末端承载于所述支撑区域中,所述压紧件与所述蒸发舟配合时,所述压紧件被收容于所述支撑区域中;所述护板与所述压紧件沿同一直线均开设有通孔,一铰轴枢接地穿过所述通孔使所述压紧件与所述支撑座枢接;所述压紧件包括抵触部和紧固部,所述抵触部抵触于所述蒸发舟的末端之上,所述紧固部与所述蒸发舟的末端相分离,当拆卸所述蒸发舟时,所述压紧件绕所述铰轴向所述紧固部的方向旋转。 |
地址 |
523018 广东省东莞南城区宏图高新技术开发区黄金路东莞宏威数码机械有限公司 |