高可靠性的射频发生器结构

摘要

开放的射频RF发生器系统，包括至少一个电源、至少一个从所述电源接收输入的功率放大器，和电源控制模块以及系统控制器。来自至少一个电源的输出可以被组合并施加到各个功率放大器。来自至少一个功率放大器中的各个功率放大器的输出可以组合，以产生一个单个RF信号。补偿模块控制所述至少一个电源的工作。所述补偿模块、系统控制模块以及电源控制器按照菊化链结构通信。

主权项

一种射频RF功率发生器，包括：产生RF功率的驱动器模块；放大所述RF功率的功率放大器模块；以及包括第一通信端口的数据获取模块，其接收并保存与分析所述功率放大器模块的输出相关的诊断数据，其中，所述数据获取模块保存在确定所保存的诊断数据指示所述RF功率发生器的故障状态之前预定时段内通过所述第一通信端口所接收的诊断数据，所述数据获取模块在所保存的诊断数据指示所述故障状态时利用第二通信端口向电源控制模块传送故障指示，所述第二通信端口传送数字数据，以及所述数据获取模块利用所述第二通信端口在确定所保存的诊断数据指示所述故障状态之后提供所保存的诊断数据。