一种对硅片切削废液的回收方法

摘要

本发明公开了一种对硅片切削废液的回收方法，包括以下步骤：(1)对硅片切削废液进行固液分离，在分离后的液相中，首先加入酸反应后，加入氨水调节pH值至7～8，加入活性碳脱色，然后经过滤除杂，滤液进行减压蒸馏，得到聚乙二醇。(2)对所述切削废液固液分离所得的固相先进行6～9次水洗，所得水洗液首先调节PH值至4～6后过滤，过滤所得固体物料经减压干燥得到硅粉。(3)对步骤(2)中水洗后的固相分别经碱洗和酸洗，所述碱洗在温度为70～80℃时进行，然后经过滤烘干，得到碳化硅微粉。(4)将步骤(2)所得滤液和步骤(3)中所得的洗液和滤液混合后，调节pH值至4～6后过滤，所得滤液作为生产用水循环利用。

主权项

一种对硅片切削废液的回收方法，其特征在于包括以下步骤：(1)对硅片切削废液进行固液分离，在分离后的液相中，首先加入酸反应后，加入氨水调节 pH值至7～8，加入活性碳脱色，然后经过滤除杂，滤液进行减压蒸馏，得到聚乙二醇；(2)对所述切削废液固液分离所得的固相先进行6～9次水洗，所得水洗液首先调节 pH值至4～6后过滤，过滤所得固体物料经减压干燥得到硅粉；(3)对步骤(2)中水洗后的固相分别经碱洗和酸洗，所述碱洗在温度为70～80℃时进行，然后经过滤烘干，得到碳化硅微粉；(4)将步骤(2)所得滤液和步骤(3)中所得的洗液和滤液混合后，调节 pH值至4～6后过滤，所得滤液作为生产用水循环利用。