感光性组合物及感光性薄膜、以及图案的形成方法及印制电路板

摘要

本发明的目的在于提供一种灵敏度良好、且自然保存性及操作性优异的感光性组合物、感光性薄膜、以及可以高精细且高效率地形成半导体领域中的高精细永久图案(保护膜、层间绝缘膜及阻焊剂图案等)的永久图案的形成方法及采用该永久图案的形成方法形成了永久图案的印制电路板。为此，提供一种至少含有(A)粘合剂、(B)聚合性化合物及(C)光聚合引发剂，上述(A)粘合剂通过使部分结构具有双酚骨架的环氧化合物(a)和含有不饱和基团的一元羧酸(b)的反应物与含有饱和基团及不饱和基团中的任意一种的多元酸化合物(c)反应而得到，上述(C)光聚合引发剂为酰基氧化膦及肟衍生物中的任意一种。

主权项

1.一种感光性组合物，其特征在于，至少含有(A)粘合剂、(B)聚合性化合物及(C)光聚合引发剂，所述(A)粘合剂通过使部分结构具有双酚骨架的环氧化合物(a)和含有不饱和基团的一元羧酸(b)的反应物与含有饱和基团及不饱和基团中的任意一种的多元酸化合物(c)反应而得到；所述(C)光聚合引发剂为酰基氧化膦化合物及肟衍生物中的任意一种，所述肟衍生物为下述结构式(2)以及(4)～(7)所示的肟衍生物中的任一种，结构式(2)结构式(4)结构式(5)结构式(6)结构式(7)所述环氧化合物(a)是下述通式(1)及通式(2)中的任意一种所表示的环氧化合物，通式(1)所述通式(1)中，X表示氢原子及缩水甘油基中的任意一种，R表示亚甲基及异亚丙基中的任意一种，n表示1以上的整数，通式(2)所述通式(2)中，R¹表示氢原子及甲基中的任意一种，R²及R³表示亚烷基，m及n表示m+n为2～50的正整数，p表示正整数，所述含有不饱和基团的一元羧酸(b)是含有乙烯基的一元羧酸，所述粘合剂的酸价为30～150mgKOH/g，所述酰基氧化膦化合物选自双(2，6-二甲氧基苯甲酰基)苯基氧化膦、双(2，6-二甲氧基苯甲酰基)(2，4，4-三甲基戊基)氧化膦、双(2，6-二甲氧基苯甲酰基)-正丁基氧化膦、双(2，6-二甲氧基苯甲酰基)-(2-甲基丙烷-1-基)氧化膦、双(2，6-二甲氧基苯甲酰基)-(1-甲基丙烷-1-基)氧化膦、双(2，6-二甲氧基苯甲酰基)-叔丁基氧化膦、双(2，6-二甲氧基苯甲酰基)环己基氧化膦、双(2，6-二甲氧基苯甲酰基)辛基氧化膦、双(2-甲氧基苯甲酰基)(2-甲基丙烷-1-基)氧化膦、双(2-甲氧基苯甲酰基)(1-甲基丙烷-1-基)氧化膦、双(2，6-二乙氧基苯甲酰基)(2-甲基丙烷-1-基)氧化膦、双(2，6-二乙氧基苯甲酰基)(1-甲基丙烷-1-基)氧化膦、双(2，6-二丁氧基苯甲酰基)(2-甲基丙烷-1-基)氧化膦、双(2，4-二甲氧基苯甲酰基)(2-甲基丙烷-1-基)氧化膦、双(2，4，6-三甲基苯甲酰基)(2，4-二戊氧基苯基)氧化膦、双(2，6-二甲氧基苯甲酰基)苄基氧化膦、双(2，6-二甲氧基苯甲酰基)-2-苯基丙基氧化膦、双(2，6-二甲氧基苯甲酰基)-2-苯基乙基氧化膦、双(2，6-二甲氧基苯甲酰基)苄基氧化膦、双(2，6-二甲氧基苯甲酰基)-2-苯基丙基氧化膦、双(2，6-二甲氧基苯甲酰基)-2-苯基乙基氧化膦、2，6-二甲氧基苯甲酰基苄基丁基氧化膦、2，6-二甲氧基苯甲酰基苄基辛基氧化膦、双(2，4，6-三甲基苯甲酰基)-2，5-二异丙基苯基氧化膦、双(2，4，6-三甲基苯甲酰基)-2-甲基苯基氧化膦、双(2，4，6-三甲基苯甲酰基)-4-甲基苯基氧化膦、双(2，4，6-三甲基苯甲酰基)-2，5-二乙基苯基氧化膦、双(2，4，6-三甲基苯甲酰基)-2，3，5，6-四甲基苯基氧化膦、双(2，4，6-三甲基苯甲酰基)-2，4-二-正丁氧基苯基氧化膦、2，4，6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦、双(2，6-二甲氧基苯甲酰基)-2，4，4-三甲基戊基氧化膦、双(2，4，6-三甲基苯甲酰基)异丁基氧化膦、2，6-二甲氧基苯甲酰基-2，4，6-三甲基苯甲酰基-正丁基氧化膦、双(2，4，6-三甲基苯甲酰基)苯基氧化膦、双(2，4，6-三甲基苯甲酰基)-2，4-二丁氧基苯基氧化膦、1，10-双[双(2，4，6-三甲基苯甲酰基)氧化膦]癸烷和三(2-甲基苯甲酰基)氧化膦。