| 发明名称 | 涂布机 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种涂布机，包括：涂布头单元，其包括喷嘴，流体从喷嘴涂布到基板上；以及气泡检测单元，其根据物理量的变化来检测流体内的气泡，其中，气泡检测单元向涂布头单元内的流体发射微波，上述物理量的变化由微波通过涂布头单元内的流体引起。 | ||
| 申请公布号 | CN102540579A | 申请公布日期 | 2012.07.04 |
| 申请号 | CN201110429149.8 | 申请日期 | 2011.12.20 |
| 申请人 | 塔工程有限公司 | 发明人 | 徐大勋 |
| 分类号 | G02F1/1339(2006.01)I;G02F1/1341(2006.01)I;B05C5/00(2006.01)I;B05C11/00(2006.01)I | 主分类号 | G02F1/1339(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人 | 张文;郭放 |
| 主权项 | 一种涂布机，包括：涂布头单元，所述涂布头单元包括喷嘴，流体从所述喷嘴涂布到基板上；以及气泡检测单元，所述气泡检测单元根据物理量的变化来检测流体内的气泡，其中，所述气泡检测单元向所述涂布头单元内的流体发射微波，所述物理量的变化由所述微波通过所述涂布头单元内的流体引起。 | ||
| 地址 | 韩国庆尚北道 | ||