| 发明名称 | 一种纳米复合结构的V-Al-N硬质涂层及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种纳米复合结构的V-Al-N硬质涂层，成分表示为(V1-xAlx)N，其中，1-x为0.41～0.6，x为0.4～0.59，在保证较低摩擦系数的同时，能够保证具有较高的硬度，特别适合作为刀具涂层。本发明公开了一种纳米复合结构的V-Al-N硬质涂层的制备方法，包括以下步骤：基体清洗；沉积涂层：在真空室中，将Al靶安装在中频阴极上，V靶安装在直流阴极上，通入Ar气和N2气，通过调节Al靶的功率和V靶的功率，在250℃～500℃和0.3Pa～1.0Pa条件下，对基体溅射沉积纳米复合结构的V-Al-N硬质涂层，其可操作性强、可控性好、易于工业化生产，具有较好的经济效益。 | ||
| 申请公布号 | CN102534493A | 申请公布日期 | 2012.07.04 |
| 申请号 | CN201210011554.2 | 申请日期 | 2012.01.13 |
| 申请人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 发明人 | 黄峰;葛芳芳;李艳玲;朱萍 |
| 分类号 | C23C14/06(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人 | 刘诚午 |
| 主权项 | 一种纳米复合结构的V‑Al‑N硬质涂层，其特征在于，成分表示为(V1‑xAlx)N，其中，1‑x为0.41～0.6，x为0.4～0.59。 | ||
| 地址 | 315201 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号 | ||