| 发明名称 | 背板的制作方法 | ||
| 摘要 | 一种背板的制作方法，包括：提供背板铸件；在800℃～1000℃，对所述背板铸件进行锻打，形成背板坯料；对所述背板坯料进行处理，形成背板。本发明可以得到内部组织结构更加细化和更加均匀的背板，防止背板扭曲变形。一方面减小靶材各部分与硅片基底间的偏差，提高镀膜的质量，另一方面提高溅射靶材组件的使用寿命。 | ||
| 申请公布号 | CN102534518A | 申请公布日期 | 2012.07.04 |
| 申请号 | CN201110452048.2 | 申请日期 | 2011.12.29 |
| 申请人 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 发明人 | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;周园 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C22F1/08(2006.01)I;C22F1/04(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 骆苏华 |
| 主权项 | 一种背板的制作方法，其特征在于，包括：提供背板铸件；在800℃～1000℃，对所述背板铸件进行锻打，形成背板坯料；对所述背板坯料进行处理，形成背板。 | ||
| 地址 | 315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路198号 | ||