一种生产多晶硅真空炉用水冷铜电极

摘要

本发明涉及光伏产业多晶硅生产设备，公开了一种生产多晶硅真空炉用水冷铜电极，包括后端带进出冷却水管的深孔铜棒、圆台型铜块、电刷，其特征在于：在圆台型铜块的大圆面上设置电刷，该铜块的侧面与深孔铜棒前端设置相同锥度的圆台型孔紧密贴合，连为一体。本发明改变了现有的水冷铜电极与石墨电极之间全靠螺纹导电的单一连接方式，通过起电刷作用的钼丝与石墨电极内壁充分接触，大大增加两电极之间的接触面积。提高了水冷铜电极使用寿命。

主权项

一种生产多晶硅真空炉用水冷铜电极，包括后端带进出冷却水管的深孔铜棒、锁紧铜螺母、聚四氟乙烯套环、O型密封圈、胶木绝缘垫环、胶木绝缘螺栓套管、胶木绝缘托盘、电极固定盘、电极接线板、连接螺栓、圆台型铜块、电刷，其特征在于：在圆台型铜块的大圆面上设置电刷，该铜块的侧面与深孔铜棒前端设置相同锥度的圆台型孔紧密贴合，连为一体。