一种铸锭用石英坩埚及其制备方法

摘要

本发明提供了一种铸锭用石英坩埚及其制备方法，涉及了多晶硅铸锭的石英坩埚和制备方法。其步骤为（1）配制氮化硅浆料：将质量分数为30-55%的氮化硅粉，质量分数为1-10%的有机粘结剂，质量分数为0-1%的抗氧化剂，质量分数为35-69%的纯水混合均匀后，加热到40-100°C；（2）喷涂：采用喷涂工艺将悬浮液喷坩埚表面，将喷涂好的坩埚继续在80-100°C条件下继续进行涂层固化1-2小时，然后冷却至室温。加入有机粘结剂，与坩埚表面吸附性更好，不易遭到破坏；不需要进行高温烧结，降低石英坩埚和涂层氧化污染，降低能耗。

主权项

一种铸锭用石英坩埚的制备方法，其步骤为：（1）配制氮化硅浆料：将质量分数为30‑55%的氮化硅粉，质量分数为1‑10%的有机粘结剂，质量分数为0‑1%的抗氧化剂，质量分数为35‑69%的纯水混合均匀后，加热到40‑100°C；（2）喷涂：采用喷涂工艺将悬浮液喷坩埚表面，将喷涂好的坩埚继续在80‑100°C条件下继续进行涂层固化1‑2小时，然后冷却至室温。