一种组合磁场的矩形平面阴极电弧蒸发源

摘要

本发明公开了一种组合磁场的矩形平面阴极电弧蒸发源，包括一矩形靶材平板，在靶材平板的正下方、间隔所述靶材平板一段距离处设有一中轴永磁体、四个端角永磁体和至少两个长圆形电磁线圈，所述电磁线圈沿所述靶材平板边缘平行环套设置且通过导线连接可调直流电源，其四个端角处分别设置有一所述端角永磁体，其中，最内侧的电磁线圈的内侧、沿其长轴方向设有所述中轴永磁体，所述中轴永磁体、端角永磁体和电磁线圈所形成的磁场的极性一致。本发明提供了一种无论磁化电流是否变化都能实现靶材利用率高、形成的膜层细腻的阴极电弧蒸发源。

主权项

一种组合磁场的矩形平面阴极电弧蒸发源，包括一矩形靶材平板，其特征在于：在靶材平板的正下方、间隔所述靶材平板一段距离处设有一中轴永磁体、四个端角永磁体和至少两个长圆形电磁线圈，所述电磁线圈沿所述靶材平板边缘平行环套设置且通过导线连接可调直流电源，其四个端角处分别设置有一所述端角永磁体，其中，最内侧的电磁线圈的内侧、沿其长轴方向设有所述中轴永磁体，所述中轴永磁体、端角永磁体和电磁线圈所形成的磁场的极性一致。